（原标题：晶合集成申请套刻误差的测量方法专利，可以节省约一半的测量时间凯时K66国际首页凯时K66国际首页，提高了产量和机台产能）
金融界2024年1月17日消息凯时K66国际首页凯时K66国际首页，据国家知识产权局公告凯时K66国际首页凯时K66国际首页，合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“一种套刻误差的测量方法“，公开号CN117410199A凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页，申请日期为2023年12月凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页。
专利摘要显示凯时K66国际首页，本发明提供一种套刻误差的测量方法凯时K66国际首页凯时K66国际首页，包括：提供一晶圆；将整个所述晶圆平均划分为至少两个测试区域；测量每个所述测试区域中的一个测量点位处的套刻误差凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页，以得到整个所述晶圆的套刻误差凯时K66国际首页凯时K66国际首页。意想不到的技术效果是凯时K66国际首页，本发明中的套刻误差测量方法量测范围广且均匀凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页，无需受曝光光束的大小的影响凯时K66国际首页凯时K66国际首页，可以降低每片晶圆上的量测点位凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页，并且可以降低每批晶圆的量测片数凯时K66国际首页凯时K66国际首页，节省约一半的测量时间凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页，提高了产量和机台产能凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页凯时K66国际首页。